半导体工艺废气处理方法有哪些？废气处理可谓是很多工厂老生常谈的话题了，同时对于部分特殊的废气，国家也有相关法律要求强制处理。废气处理既是保护我们居住的环境，同时也减少了对人类身体健康的危害。小编今天就和大家一起聊聊几种半导体工艺废气处理方法。

一、半导体酸碱废气处理方法

半导体行业酸碱废气处理通常采用液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

二、半导体有机废气处理方法

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

三、直接燃烧

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。